產(chǎn)品分類
Product CategoryDIC防靜電裝置1AC-P201是專為超純水環(huán)境設(shè)計(jì)的靜電控制解決方案,采用日本DIC公司的中空纖維透氣膜技術(shù),通過(guò)二氧化碳?xì)怏w注入實(shí)現(xiàn)電阻率動(dòng)態(tài)調(diào)控。該裝置有效防止靜電吸附導(dǎo)致的微粒污染,特別適用于半導(dǎo)體晶圓清洗、光罩維護(hù)等對(duì)潔凈度要求的工業(yè)場(chǎng)景。其柜式結(jié)構(gòu)整合氣瓶存儲(chǔ)與傳感器監(jiān)測(cè),支持直接連接用水點(diǎn),實(shí)現(xiàn)全流程自動(dòng)化控制。
超純水電阻率調(diào)控
通過(guò)中空纖維膜精準(zhǔn)釋放CO?氣體,將超純水電阻率穩(wěn)定控制在18.2 MΩ·cm以上,消除靜電引發(fā)的微粒二次附著問題。
模塊化設(shè)計(jì)
集成雙氣瓶柜體與電阻率傳感器,支持5-30 L/min流量范圍,滿足連續(xù)作業(yè)需求。
環(huán)境適應(yīng)性
防護(hù)等級(jí)IP65,可在-10℃至50℃環(huán)境溫度下穩(wěn)定運(yùn)行,適應(yīng)潮濕、粉塵等嚴(yán)苛工況。
安全防護(hù)機(jī)制
內(nèi)置過(guò)壓保護(hù)與氣路自檢功能,異常時(shí)自動(dòng)切斷氣源并觸發(fā)聲光報(bào)警。
項(xiàng)目 | 規(guī)格說(shuō)明 |
|---|---|
型號(hào) | 1AC-P201 |
處理流量 | 5-30 L/min |
電阻率控制范圍 | 1-18.2 MΩ·cm(可調(diào)) |
CO?消耗量 | ≤0.5 L/min @ 15 L/min流量 |
氣瓶接口 | 雙通道并聯(lián),支持DIN477標(biāo)準(zhǔn) |
傳感器精度 | ±0.1 MΩ·cm |
響應(yīng)時(shí)間 | ≤30秒(電阻率突變) |
工作壓力 | 0.2-0.6 MPa |
接口尺寸 | 進(jìn)水口:1/2" NPT;出水口:3/4" NPT |
電源要求 | 220VAC ±10%,50/60Hz |
功耗 | ≤150W |
雙氣瓶柜體:采用304不銹鋼框架,單柜可容納2個(gè)標(biāo)準(zhǔn)CO?氣瓶(容積10L),配備壓力表與截止閥。
智能監(jiān)測(cè)模塊:集成電阻率傳感器與流量計(jì),數(shù)據(jù)通過(guò)4-20mA模擬信號(hào)或RS485協(xié)議輸出,支持MODBUS RTU通信。
防震底座:橡膠減震墊設(shè)計(jì),降低設(shè)備運(yùn)行振動(dòng)對(duì)超純水系統(tǒng)的干擾。
半導(dǎo)體制造
用于晶圓濕法清洗工序,防止靜電吸附導(dǎo)致的光刻缺陷。
光伏電池生產(chǎn)
在太陽(yáng)能電池片制絨環(huán)節(jié),確保超純水清洗無(wú)微粒殘留。
生物醫(yī)藥
符合GMP認(rèn)證的注射用水系統(tǒng),避免藥品生產(chǎn)中的交叉污染。
安裝要求:設(shè)備需水平放置于通風(fēng)環(huán)境,周邊預(yù)留≥50cm維護(hù)空間;氣瓶連接需使用不銹鋼軟管。
日常維護(hù):每季度更換中空纖維膜組件,每年校準(zhǔn)傳感器;氣瓶壓力低于1MPa時(shí)需及時(shí)更換。
故障處理:電阻率異常時(shí)優(yōu)先檢查氣路密封性,流量不足時(shí)需清潔進(jìn)水過(guò)濾器。
認(rèn)證標(biāo)準(zhǔn):通過(guò)SEMI S2-0710半導(dǎo)體設(shè)備安全認(rèn)證,符合ISO 14644-1 Class 3潔凈室要求。
質(zhì)保條款:整機(jī)質(zhì)保2年,核心部件(傳感器、膜組件)質(zhì)保1年。
技術(shù)支持:提供遠(yuǎn)程診斷與現(xiàn)場(chǎng)服務(wù),緊急響應(yīng)時(shí)間≤4小時(shí)
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