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簡要描述：新款ULVAC愛發(fā)科 多級羅茨型干泵節(jié)電配件螺桿型干式真空泵。在傳統(tǒng)LS系列的基礎上，提高了該耐溶解和粉末排出性能。該型號專為利用溶解氣體和有粉末排出的工藝設計
產品型號：ES4A廠商性質：經(jīng)銷商更新時間：2025-11-16訪 問 量：355新款ULVAC愛發(fā)科 多級羅茨型干泵節(jié)電配件
新款ULVAC愛發(fā)科 多級羅茨型干泵節(jié)電配件
特點
通過對轉子軸和鋁合金等主要部件進行特殊涂層處理，進行腐蝕。
采用ULVAC 設計的底座軸，實現(xiàn)高性能的排粉。
從大氣壓到極限壓力，可以在全壓力區(qū)域連續(xù)運行。
目的
半導體和電子器件制造設備相關的真空排氣系統(tǒng)，如刻蝕設備、去膠設備、離子清洗設備等。
真空熱處理爐真空排氣系統(tǒng)，如燒結爐、滲碳爐等。
鋰電池制造設備真空排氣系統(tǒng)，如電極干燥設備、脫泡設備、注液設備等。
醫(yī)療食品設備相關的真空排氣系統(tǒng)，如冷凍干燥設備、真空干燥設備等。
螺桿型干式真空泵。在傳統(tǒng)LS系列的基礎上，提高了該耐溶解和粉末排出性能。該型號專為利用溶解氣體和有粉末排出的工藝設計
當使用干泵時可選配，用于降低排氣噪音。
特點
大氣壓附近的排氣速度高，可以縮短排氣時間。
ECO-SHOCK技術實現(xiàn)低功耗（C型號）
極限壓力下的功耗為0.6 kW或更低（LS120A-C）
配有專用的消音器
極限壓力下的噪音水平為61 dB（A）或更低
無需先前所需要的軸封氣體
※L型可以使用稀釋氣體。
排氣速度120-1200 m3 / h級 ※可與機械增壓泵結合使用
可以根據(jù)應用選擇最佳排氣能力的型號
得點
出色的消音效果
可以通過卡箍連接到泵的排氣口
| 型式 | ES10 | ES4A | |||
| 電源 | 規(guī)格 | 單相 AC100～220V 50/60Hz | 單相 AC200～220V±5% 50/60Hz | ||
| 最大功耗 | 65W *1 | 400W | |||
| 控制 | 輸入 | 遠程啟動/停止（接點 DC24V有電圧） 接點容量2.0A以上請準備無電源接點 *2 | |||
| 輸出 | 過電流報警輸出(接點 無電圧) 接點容量：DC24V 1.0A | 啟動確認、省電確認、本體警報、過電流警報 | |||
| 顯示 | 運作時間顯示 | 運作時間、啟動確認、省電確認、本體警報、過電流警報 | |||
| 外觀尺寸 | 本體單元 | 175mm×310mm×240mm | 250mmx475mmx373mm | ||
| 閥單元 | Φ66mm×110mm(NW40) *3 | 選項 | |||
| 質量 | 本體單元：8.3kg 閥單元：800g | 32kg | |||
| 質量 | G1/4" (INLET、OUTLET) 已安裝連接器 | Φ16mm管接頭( 推薦管的長度為1.5m以內) | |||
*1 干泵的使用工藝氣體、吹掃氣體 0Pam3/s*2 手動啟動/停止時可以通過跳轉控制連接器的PIN，來ON/OFF電路保護器。*3 ES10標配一個閥單元
| 弊社泵型號 | LR1800 | LR3601-R | ||
| 排氣速度*1 | 羅茨泵 | 1784m3/hr（29700L/min） | 3200m3/hr(53333L/min） | |
| 干泵 | 237m3/hr（3950L/min） | 440m3/hr(7333L/min） | ||
| 平均功耗*2,3 | 極限壓力運作時 | 沒有 | 6.0kW | 7.8kW |
| ES4A安裝時 | 2.7kW | 3.2kW | ||
| 消減率 | 55% | 59% | ||
| 反復排氣時 *4 | 沒有 | 7.2kW | 9.6kW | |
| ES4A安裝時 | 5.7kW | 6.3kW | ||
| 消減率 | 21% | 34% | ||
*1 電源頻率60Hz
*2 密封氣體5SLM
*3 包含ECO-SHOCK ES4A功耗
*4 300L腔室反復排氣60秒節(jié)拍的測量示例。
| 型號名稱 | LR60 | LR90 | LR180 |
| 排氣速度*1 | 1300L/min | 2100L/min | 3980L/min |
| 實測功耗*2 | 2.1kW | 3.6kW | 6.6kW |
| ECO-SHOCK安裝后的實測功耗*2 *3 *4 | 0.7kW | 1.0kW | 1.6kW |
| 電力消減率 | 67% | 72% | 76% |
*1 電源頻率60Hz
*2 功耗為極限壓力時的代表值
*3 包括ECO-SHOCK的功耗
*4 密封氣體、吹掃氣體流量0Pa?m3/s時。取決于密封氣體、吹掃氣體流量
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