全新進(jìn)口 ROOKS 流量控制器/儀表  GF126

全新進(jìn)口 ROOKS 流量控制器/儀表  GF126

一臺(tái)設(shè)備支持多種氣體，最大限度地提高工藝靈活性和生產(chǎn)率。 系列彈性密封質(zhì)量流量控制器/儀表采用 Brooks Instrument 的 MultiFlo™ 技術(shù)，非常適合使用多種氣體、經(jīng)常更改氣體類(lèi)型或保持氣體測(cè)量和控制精度的應(yīng)用，是系統(tǒng)、過(guò)程和設(shè)施的理想選擇。需要重新確定范圍。憑借的流量測(cè)量和控制性能，將您的過(guò)程靈活性提升到一個(gè)新的水平。

利用 MultiFlo™ 技術(shù)最大限度地延長(zhǎng)工藝生產(chǎn)正常運(yùn)行時(shí)間，該技術(shù)支持新的氣體校準(zhǔn)和滿量程范圍，而無(wú)需從氣體管線中拆除質(zhì)量流量控制器 (MFC)。

簡(jiǎn)單易懂的 MultiFlo™ 編程：60 秒內(nèi)即可在不同氣體選擇之間切換

減少 OEM 和大型最終用戶擁有的具有固定氣體類(lèi)型和流量范圍的控制器庫(kù)存

通過(guò)基于全球標(biāo)準(zhǔn)的高性能測(cè)量系統(tǒng)和校準(zhǔn)實(shí)現(xiàn)的過(guò)程氣體精度

耐腐蝕傳感器提供傳感器的長(zhǎng)期穩(wěn)定性，確保最大產(chǎn)量和吞吐量

用戶可訪問(wèn)的服務(wù)端口簡(jiǎn)化了故障排除和診斷

彈性體密封件能夠以合理的成本在各種應(yīng)用中提供靈活的性能

支持多種協(xié)議通信接口集成到現(xiàn)有系統(tǒng)中

利用 MultiFlo™ 技術(shù)最大限度地延長(zhǎng)工藝生產(chǎn)正常運(yùn)行時(shí)間，該技術(shù)支持新的氣體校準(zhǔn)和滿量程范圍，而無(wú)需從氣體管線中拆除質(zhì)量流量控制器 (MFC)

高性能組件經(jīng)過(guò)半導(dǎo)體行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)的持續(xù)測(cè)試以確?？煽啃?/p>

耐腐蝕的全金屬流路，具有減少的表面積和死體積，可在吹掃過(guò)程中加快干燥時(shí)間

MultiFlo™ 允許在 60 秒內(nèi)設(shè)置新的工藝氣體和/或范圍，而無(wú)需移除或重新校準(zhǔn) MFC